T.Yokomizo: "Measurement of atomic radicals using tunable VUV laser absorption spectroscopy"Proceedings of The 20^<th> Symposium on Plasma Processing. 239-240 (2003)
T.Yokomizo: "Measurement of atomic radicals using tunable VUV laser absorption spectroscopy"Proceedings of The 20^<th> Symposium on Plasma Processing. 239-240 (2003)
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T.Yokomizo：“使用可调谐 VUV 激光吸收光谱测量原子自由基”第 20 届等离子体加工研讨会论文集。
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