Development of high speed and precise Si anisotropic wet etching technology in mass production for automotive sensor
Development of high speed and precise Si anisotropic wet etching technology in mass production for automotive sensor
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汽车传感器高速精密硅各向异性湿法刻蚀技术量产开发
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi TANAKA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Asahi;H. Tanigawa;T. Nishino;T. Furutsuka;and K. Suzuki;Hiroshi TANAKA
