電子線リソグラフィを用いたジブロック共重合体ミクロ相分離膜の選択的パターニング
電子線リソグラフィを用いたジブロック共重合体ミクロ相分離膜の選択的パターニング
复制标题
使用电子束光刻对二嵌段共聚物微相分离膜进行选择性图案化
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
石原直
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
鈴木裕之;米谷玲皇;割澤伸一;石原直
