銅薄膜における引張過程でのその場X線応力測定
銅薄膜における引張過程でのその場X線応力測定
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铜薄膜拉伸过程中的原位 X 射线应力测量
DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
田中啓介
中科院分区:
文献类型:
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作者:
鈴木剛;秋庭義明;田中啓介