Four-point probe measurement of non-uniformities in semiconductor sheet resistivity☆

Four-point probe measurement of non-uniformities in semiconductor sheet resistivity☆
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四点探针测量半导体薄层电阻率不均匀性☆

DOI:
10.1016/0038-1101(64)90038-3
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发表时间:
1964
影响因子:
1.7
通讯作者:
L. Swartzendruber
L. Swartzendruber
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
L. Swartzendruber

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