Investigation of surface amorphization of silicon wafers during ion-milling
Investigation of surface amorphization of silicon wafers during ion-milling
复制标题
离子铣削过程中硅片表面非晶化的研究
DOI：
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发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Hoffmann
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Schuhrke;M. Mändl;J. Zweck;H. Hoffmann
