プラズマCVDにより堆積したSiO_x薄膜からのフォトルミネッセンス
プラズマCVDにより堆積したSiO_x薄膜からのフォトルミネッセンス
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等离子体CVD沉积的SiO_x薄膜的光致发光
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡田 竜弥
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Okada;T. Okada;H. Furukawa;H. Furukawa;T. Yorimoto;T. Okada;岡田竜弥;岡田竜弥;T. Okada;加久博隆;加久博隆;H. Furukawa;古川弘和;H. Furukawa;木庭直浩;山本雄治;広重康夫;岡田 竜弥
