冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー
冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー
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使用冷冻针卡盘对石英玻璃基板进行整平和抛光 - 针之间冷却液的影响 -
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉冨 健一郎,宇根 篤暢,餅田 正秋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
0)M. Yasui;S. Kaneko;M. Kurouchi;H. Ito;T. Ozawa and M. Arai;森章洋;吉冨 健一郎,宇根 篤暢,餅田 正秋
