Microstructure of AlN layer on (001) and (111) diamond substrates by metal organic vapor phase epitaxy
Microstructure of AlN layer on (001) and (111) diamond substrates by metal organic vapor phase epitaxy
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金属有机气相外延在（001）和（111）金刚石衬底上 AlN 层的微观结构
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Amano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Imura;K.Nakajima;M.Y.Liao;Y.Koide;H.Amano
