Soft-lithographic methods for fabrication of dielectrophoretic devices using molds by proton beam writing
Soft-lithographic methods for fabrication of dielectrophoretic devices using molds by proton beam writing
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使用质子束写入模具制造介电泳器件的软光刻方法
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Shiine;H.Nishikawa;Y.Furuta;K.Kanamitsu;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya;R.Nakao;S.Uchida
