Eiji Shamoto: "Development of Ultraprecision XYO Table Driven by Means of Walking Drive" Proc.of UME3. 139-142 (1994)
Eiji Shamoto: "Development of Ultraprecision XYO Table Driven by Means of Walking Drive" Proc.of UME3. 139-142 (1994)
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Eiji Shamoto：“通过行走驱动方式驱动的超精密XYO工作台的开发”Proc.of UME3。
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