アナターゼ型TaONエピタキシャル薄膜の物理特性II
アナターゼ型TaONエピタキシャル薄膜の物理特性II
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锐钛矿型TaON外延薄膜II的物理特性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木 温，廣瀬 靖，岡 大地，中尾祥一郎，松崎浩之，福谷克之，石井 聡，笹 公和，関場大一郎，福村知昭，長谷川哲也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasushi Hirose;Daichi Oka;Tetsuya Hasegawa;岡 大地，廣瀬 靖，伊藤誠二，森田 明，松崎浩之，福谷克之，石井 聡，笹 公和，関場大一郎，長谷川哲也;鈴木 温，廣瀬 靖，岡 大地，中尾祥一郎，松崎浩之，福谷克之，石井 聡，笹 公和，関場大一郎，福村知昭，長谷川哲也
