表面拡散による形態変化を利用した超平坦シリコン・メンブレンの形成
表面拡散による形態変化を利用した超平坦シリコン・メンブレンの形成
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利用表面扩散引起的形态变化形成超平坦硅膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
榊原昇一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
須藤孝一;榊原昇一
