An Inchworm-type Multi-DOF Stage
An Inchworm-type Multi-DOF Stage
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尺蠖型多自由度平台
DOI：
10.1541/ieejeiss.133.849
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发表时间：
2013
影响因子：
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通讯作者：
鳥井昭宏,山田智弘,上谷亮介,植田明照,道木加絵
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Ohkubo;N. Terada;Y. Yoshida;鳥井昭宏,山田智弘,上谷亮介,植田明照,道木加絵
