Application of 60 mmφ superconducting bulk magnet to magnetron sputtering
Application of 60 mmφ superconducting bulk magnet to magnetron sputtering
复制标题
60mmφ超导块体磁体在磁控溅射中的应用
DOI：
10.1016/s0921-4534(03)01021-9
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发表时间：
2003
影响因子：
1.7
通讯作者：
H. Hazama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Matsuda;S. Kashimoto;A. Imai;Y. Yanagi;Y. Itoh;H. Ikuta;U. Mizutani;K. Sakurai;H. Hazama
