Development of Full-reversed Bending Fatigue Tester Based on AFM Technique for Cyclic Damage Evaluation of MEMS
Development of Full-reversed Bending Fatigue Tester Based on AFM Technique for Cyclic Damage Evaluation of MEMS
复制标题
基于AFM技术的MEMS循环损伤评估全反向弯曲疲劳试验机的研制
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroaki Kitoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshitada Isono;Takanori Kikuchi;Hiroaki Kitoh
