マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の成長
マイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の成長
复制标题
微波等离子体CVD法生长金刚石薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
徳田規夫
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
伊藤 槙哉;叶田 翔平;松本 翼;徳田 規夫;猪熊 孝夫;徳田規夫
