Beam-Substrate Interaction during Tungsten Deposition by Helium Ion Microscope
Beam-Substrate Interaction during Tungsten Deposition by Helium Ion Microscope
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氦离子显微镜钨沉积过程中束流与基底的相互作用
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuyuki Kohama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
樋口 琢磨;戸高 寛;池 恩變;山口 史佳;森澤 啓子;小野 正文;杉山 康憲;津田 雅之;坂本 修士;Kazuyuki Kohama
