Semiconductor properties of nitrogen-doped hydrogenated amorphous carbon fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition method

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等离子体增强化学气相沉积法制备氮掺杂氢化非晶碳的半导体性能

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
K.Honda
K.Honda
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y. Kondo;A. Ashida;N. Nouzu;N. Fujimura;K.Honda

文献摘要

参考文献

被引文献

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