Design, Fabrication, and Characterization of Tunable Micromachined Filter with Double-Cavity Structure
Design, Fabrication, and Characterization of Tunable Micromachined Filter with Double-Cavity Structure
复制标题
双腔结构可调谐微机械滤波器的设计、制造和表征
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Fumio Koyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wiganes Janto;Akihiro Matsutani;Fumio Koyama
