Nonlinear large deflection of nanopillars fabricated by focused ion-beam induced chemical vapor deposition using double-cantilever testing
Nonlinear large deflection of nanopillars fabricated by focused ion-beam induced chemical vapor deposition using double-cantilever testing
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使用双悬臂测试通过聚焦离子束诱导化学气相沉积制造纳米柱的非线性大偏转
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Kogo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Tanaka;M.Shinkai;Y.Shibutani;Y.Kogo
