Growth of GaN on SiC/Si substrates using MN buffer layer by hot-mesh CVD

Growth of GaN on SiC/Si substrates using MN buffer layer by hot-mesh CVD
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通过热网 CVD 使用 MN 缓冲层在 SiC/Si 衬底上生长 GaN

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Thin Solid Films 516
影响因子:
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通讯作者:
et.al.
et.al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Takashi Ito;et.al.

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