自由電子レーザー照射により Si および SiO2/Si 基板上に形成された微細構造
自由電子レーザー照射により Si および SiO2/Si 基板上に形成された微細構造
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自由电子激光辐照在 Si 和 SiO2/Si 基底上形成的微结构
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
星野陽太,野平真義,岩田展幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
有働 直輝;野見山 輝明;堀江 雄二;三原 千都世;星野陽太,野平真義,岩田展幸
