M.Shiratani,T.Fukuzawa and Y.Watanabe: "Particle Growth Kinetics in Silane RF Disharges"Japanese Journal of Applied Physics. 38・7B. 4542-4549 (1999)
M.Shiratani,T.Fukuzawa and Y.Watanabe: "Particle Growth Kinetics in Silane RF Disharges"Japanese Journal of Applied Physics. 38・7B. 4542-4549 (1999)
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M. Shiratani、T. Fukuzawa 和 Y. Watanabe：“硅烷射频放电中的粒子生长动力学”日本应用物理学杂志 38・7B 4542-4549 (1999)。
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