シリコンバルク多結晶の結晶成長過程における欠陥発生機構の解明
シリコンバルク多結晶の結晶成長過程における欠陥発生機構の解明
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阐明硅块状多晶晶体生长过程中的缺陷产生机制
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中嶋一雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
阿部匠朗;沓掛健太朗;藤原航三;宇佐美徳隆;中嶋一雄
