N.Sato,H.Tagashira: "A Hybrid Monte Carlo/Fluid Model of RF Plasmas in a SiH_4/H_2 Mixture" IEEE Transaction of Plasma Science. (1991)
N.Sato,H.Tagashira: "A Hybrid Monte Carlo/Fluid Model of RF Plasmas in a SiH_4/H_2 Mixture" IEEE Transaction of Plasma Science. (1991)
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N.Sato、H.Tagashira：“SiH_4/H_2 混合物中射频等离子体的混合蒙特卡罗/流体模型”IEEE 等离子体科学汇刊。
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