Effect of assist ion beam voltage on intrinsic stress and optical properties of Ta2O5 thin films deposited by dual ion beam sputtering
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DOI：
10.1016/j.tsf.2007.08.051
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发表时间：
2008-04
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
S. Yoon;Sung-Soo Kang;W. Jung;Sang‐Woo Kim;D. Yoon
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yoon;Sung-Soo Kang;W. Jung;Sang‐Woo Kim;D. Yoon
