Tribonanolithography of Silicon in Aqueous Solution based on Atomic Force Microscope-猫眼课题宝

基于原子力显微镜的水溶液硅纳米光刻

DOI：

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发表时间：

2004

期刊：

Applied Physics Letters 85,10

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

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文献类型：

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作者：

J.W.PARK;N.KAWASEGI;N.MORITA;D.W.LEE