T. Yamaguchi: "Manufacturing of High Aspect Ratio Micro Structures Using UV Sensitive Photopolymer" JSME Int. J.39・2. 387-396 (1996)
T. Yamaguchi: "Manufacturing of High Aspect Ratio Micro Structures Using UV Sensitive Photopolymer" JSME Int. J.39・2. 387-396 (1996)
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T. Yamaguchi：“使用紫外线敏感光聚合物制造高纵横比微结构” JSME Int. 387-396 (1996)
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