坂井信支, 多田健太郎, 内海裕一, 服部正: "放射光LIGAプロセス用超高感度圧膜レジストの新規開発"第16回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集. 286 (2003)
坂井信支, 多田健太郎, 内海裕一, 服部正: "放射光LIGAプロセス用超高感度圧膜レジストの新規開発"第16回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集. 286 (2003)
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Shinji Sakai,Kentaro Tada,Yuichi Utsumi,Tadashi Hattori:“用于同步辐射LIGA工艺的超灵敏压力薄膜抗蚀剂的新发展”日本同步辐射光学学会和同步辐射科学联合研讨会第16届年会论文集286。 (2003))
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