T. Ito and K. Terashima: "Development of plasma chip"Surface and Coating Technology. 133-134. 497-500 (2000)
T. Ito and K. Terashima: "Development of plasma chip"Surface and Coating Technology. 133-134. 497-500 (2000)
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T. Ito 和 K. Terashima：“等离子芯片的开发”表面和涂层技术。
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