Diamond-Like Amorphous Carbon Films Deposited for Field-Emission Use by Upper- Electrode -RF-Power-Controlled Supermagnetron Plasma
Diamond-Like Amorphous Carbon Films Deposited for Field-Emission Use by Upper- Electrode -RF-Power-Controlled Supermagnetron Plasma
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通过上电极射频功率控制的超磁控管等离子体沉积用于场发射的类金刚石非晶碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Yamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Kinoshita;M.Yamashita;T.Yamaguchi
