金刚石基底上制备(002)AlN薄膜的研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
GU Shao-jie,YANG Bao-he,ZHANG Ming-wei,CUI Jian,LI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古少杰;杨保和;张明伟;崔健;李翠平;GU Shao-jie,YANG Bao-he,ZHANG Ming-wei,CUI Jian,LI
