T.Shibata: "Micromachining of CVD Diamond for MEMS Applications"Proceedings of 6th Applied Diamond Conference /2nd Frontier Carbon Technology (ADC/FCT 2001) (Auburn, Alabama USA). 98-103 (2001)
T.Shibata: "Micromachining of CVD Diamond for MEMS Applications"Proceedings of 6th Applied Diamond Conference /2nd Frontier Carbon Technology (ADC/FCT 2001) (Auburn, Alabama USA). 98-103 (2001)
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T.Shibata：“用于 MEMS 应用的 CVD 金刚石微加工”第六届应用金刚石会议/第二前沿碳技术 (ADC/FCT 2001)（美国阿拉巴马州奥本）会议记录。
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