T.Takahashi, K.Funatsu, Y.Ema: "Study of the automatic modeling of reaction systems for chemical vapor deposition processes using genetic algorithms"Proceeding of CVD XVI and EUROCVD 14. Vol.1. 272-278 (2003)
T.Takahashi, K.Funatsu, Y.Ema: "Study of the automatic modeling of reaction systems for chemical vapor deposition processes using genetic algorithms"Proceeding of CVD XVI and EUROCVD 14. Vol.1. 272-278 (2003)
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T.Takahashi、K.Funatsu、Y.Ema：“使用遗传算法对化学气相沉积过程的反应系统进行自动建模的研究”Proceeding of CVD XVI 和 EUROCVD 14. Vol.1。
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