微小曲げ試験片を用いたTa_2O_5薄膜の変形特性評価
微小曲げ試験片を用いたTa_2O_5薄膜の変形特性評価
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利用微弯试片评价Ta_2O_5薄膜的变形特性
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
澄川貴志;他
