Acoustic Study of Photoresist Films Formed on Silicon Substrate with Different Coating Conditions
Acoustic Study of Photoresist Films Formed on Silicon Substrate with Different Coating Conditions
复制标题
不同涂覆条件下硅基底上形成的光刻胶膜的声学研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Tohmyoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Kim;H. Tohmyoh
