Optical and Electrical Ebaluations of Defects in SiGe Thin Layer

Optical and Electrical Ebaluations of Defects in SiGe Thin Layer
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SiGe 薄层缺陷的光学和电学评估

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
5th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures, Extended Abstract
影响因子:
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通讯作者:
Wang
Wang
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H.;Nakashima・D.;Wang

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