T.Kawagoe and T.Mizoguchi: "Spectroscopic Ellipsometry of Thin Copper Films on Glass Substrate" Jpn.J.Appl.Phys. 32. 2005-2009 (1993)
T.Kawagoe and T.Mizoguchi: "Spectroscopic Ellipsometry of Thin Copper Films on Glass Substrate" Jpn.J.Appl.Phys. 32. 2005-2009 (1993)
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T.Kawagoe 和 T.Mizoguchi:“玻璃基板上薄铜膜的光谱椭圆测量” Jpn.J.Appl.Phys。
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