液相法および尿素による窒化を用いたTaON薄膜の作製
液相法および尿素による窒化を用いたTaON薄膜の作製
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液相法和尿素氮化法制备TaON薄膜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
樋口亜門・三浦章・Nataly Carolina ROSERO NAVARO・鱒渕友治・忠永清治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Ohigashi;A. Miura;N. Rosero Navarro;K. Tadanaga;樋口亜門・三浦章・Nataly Carolina ROSERO NAVARO・鱒渕友治・忠永清治
