Solid-state imager for charged particles.
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复制标题
带电粒子固态成像仪。
DOI：
10.2116/bunsekikagaku.45.493
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
0.2
通讯作者：
K. Matsumoto
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Yurimoto;K. Matsumoto
数keVオーダーのエネルギーを持つイオン粒子や電子線は,固体の表面分析や表面改質のためのプローブや信号として,よく用いられる粒子線である.そのため,これらの二次元分布を定量的に測定するためにいろいろな検出システムが考案されてきた.しかし,粒子線に対する検出器として,光学分野で画期的に成長した電荷結合素子(CCD)のような固体撮像素子の開発・実用化は遅れている.著者らのグループでは,粒子線の積分型二次元検出器として,電極を積層した増幅型固体撮像素子(AMI)を開発中である.今回は,積層型AMIの構造と動作原理及びkeVオーダーのエネルギーを持つイオン粒子を照射した場合の特性を報告する.