Low-Temperature (≦300℃) Formation of Orientation-Controlled Large-Grain (≧10μm) Ge-Rich SiGe on Insulator by Gold-Induced Crystallization

Low-Temperature (≦300℃) Formation of Orientation-Controlled Large-Grain (≧10μm) Ge-Rich SiGe on Insulator by Gold-Induced Crystallization
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金诱导结晶在绝缘体上低温(≤300℃)形成定向控制的大晶粒(≥10μm)富Ge SiGe

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and M. Miyao
and M. Miyao
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Sadoh;J.-H. Park;R. Aoki;and M. Miyao

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