反応性スパッタ法によるTiO2薄膜を用いたバイオケミカルデバイス用機能表面の開発

反応性スパッタ法によるTiO2薄膜を用いたバイオケミカルデバイス用機能表面の開発
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采用反应溅射法使用 TiO2 薄膜开发生化装置功能表面

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小西聡
小西聡
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小林大造;小西聡

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