Molecular Dynamics Study on the Internal Stress of Piezoelectric Thin film Deposited by Magnetron Sputtering
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复制标题
磁控溅射压电薄膜内应力的分子动力学研究
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Umeno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
F.Shang;T.Kitamura;Y.Umeno
