Fabrication of InP/InGaAs Undoped Channel MOSFET with Selectively Regrown N+-InGaAs Source Region

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具有选择性再生长 N -InGaAs 源区的 InP/InGaAs 未掺杂沟道 MOSFET 的制造

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T.Kanazawa
T.Kanazawa
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Ibuki;T.;et al;T.Kanazawa

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