フラッシュランプアニールによるCat-CVD a-Si膜の結晶化への起点作製の効果
フラッシュランプアニールによるCat-CVD a-Si膜の結晶化への起点作製の効果
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起始点制备对Cat-CVD a-Si薄膜闪光灯退火结晶的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大平 圭介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤 大暉;大平 圭介
