Mist CVD法を用いたα-(AlGa)2O3混晶成長におけるアセチルアセトナート錯化の影響-猫眼课题宝

乙酰丙酮络合对雾化 CVD 法生长 α-(AlGa)2O3 混晶的影响

DOI：

发表时间：

2020

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中科院分区：

文献类型：

作者：

T. Yokoyama;N. Hirata;H. Tsunoyama;T. Eguchi;Y. Negishi;A. Nakajima;Hiroyuki Odagawa;太田茉莉香，宇野和行，田中一郎