アニール処理スパッタAlN膜とn型AlGaN下地層がAlGaN多重量子井戸構造の光学特性に与える影響
アニール処理スパッタAlN膜とn型AlGaN下地層がAlGaN多重量子井戸構造の光学特性に与える影響
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退火溅射AlN薄膜和n型AlGaN底层对AlGaN多量子阱结构光学性能的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三宅秀人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
正直花奈子;石井良太;上杉謙次郎;船戸充;川上養分一;三宅秀人
