Application of AZARASHI (Seal) Mechanism to Fine Motion Stage of Atomic Force Microscope, Proc.
Application of AZARASHI (Seal) Mechanism to Fine Motion Stage of Atomic Force Microscope, Proc.
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AZARASHI（密封）机构在原子力显微镜精动台中的应用，Proc。
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Furutani et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shimura;H. Tanaka;H. Matsumoto and T. Yogo;K. Furutani et al.
