Ordering of 6-nm-sized nanodot arrays with 10-nm-pitch using self-assembled block copolymers along electron beam-drawn guide-lines
Ordering of 6-nm-sized nanodot arrays with 10-nm-pitch using self-assembled block copolymers along electron beam-drawn guide-lines
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使用自组装嵌段共聚物沿着电子束绘制的引导线排序 6 纳米大小、间距为 10 纳米的纳米点阵列
DOI：
10.1016/j.mee.2014.05.026
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发表时间：
2014
影响因子：
2.3
通讯作者：
Y. Yin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Hosaka;T. Akahane;M. Huda;T. Komori;H. Zhang;Y. Yin
